线光谱共焦传感器（SG Series）-合肥埃科光电科技股份有限公司

线光谱共焦传感器（SG Series）

埃科线光谱共焦传感器SG系列，基于同轴式光谱共聚焦技术开发而成，提供高达25KHz扫描速度，最大测量视野20.4mm，X方向分辨率可达1.7um，Z方向重复精度可达50nm，具有高精度、高速度、多功能、无接触在线检测等优势。

高速高分辨率检测

轮廓数据数量最高4096个，点间隔小，X轴轮廓数据间隔可达1.7µm，精确捕捉微小细节，轻松实现高分辨率3D在线检测；高达25kHz的扫描速度（全量程扫描速率最高4.4kHz），可应用于复杂且大量的高速扫描场景。
大量程大视野

最大测量视野20.4mm，是市面同类产品的2倍；Z轴测量范围可达7mm，能够覆盖较大高度变化，减少扫描次数，提升检测效率。
出色兼容角度

提供出色的兼容角度（最大镜面兼容角度±45°），能够应对深孔、缝隙、弯曲等复杂形貌的表面检测。
强材质适应性

传感器采用同轴光学设计，实现非接触式测量，检测敏感元件不会造成应力损伤，且具有强材质适应性，不受材质、形状和反光的影响，可检测镜面、曲面、透明材料等。

埃科线光谱共焦传感器SG系列不受材质、形状和反光的影响，对于深孔、缝隙、弯曲、透明等多种形貌或材质的表面测量有着高度的适应性，全量程都可保持高精度及高横向分辨率，广泛适用于半导体、消费电子、PCB、动力电池等多个精密制造领域。

型号	SG4050	SG4025	SG3011
轮廓数据数量	4096	4096	2944
扫描速度	4.4~18kHz	4.4~18kHz	4.4~25kHz
X轴轮廓数据间隔	5μm	2.5μm	1.7μm
Z轴线性度（镜面）	±2μm	±1μm	±0.3μm
Z轴线性度（单点）	±4μm	±2μm	±0.6μm
Z轴重复精度（镜面）	0.5μm	0.25μm	0.05μm
Z轴重复精度（单点）	2μm	1μm	0.3μm
基准距离	45.9mm	24mm	13.9mm
Z轴测量范围	5mm	2.5mm	1.1mm
X轴测量范围	20.4mm	10.2mm	5mm
最大倾斜角度	15°~85°	30°~85°	45°~85°
整机尺寸	455.7mm x 183.5mm x 85.5mm	475.1mm x 183.5mm x 85.5mm	534.2mm x 189mm x 85.5mm
重量	8.4kg	9.3kg	11.7kg
数据接口	M12 Xcode 8 芯 GigE Vision
输入输出	1路差分编码器输入；1路可编程输入；1路可编程输出
整机功耗	80W±5%
电源	DC 24V±10%
接口类型	信号接口：M12 Xcode 8芯 GigE Vision；电源接口：M12 Acode 17芯
防护等级(EN 60529)	IP55
工作温度	15℃~35℃
环境湿度	20%~85% RH（无冷凝）